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什么是线性精密平台

发布日期:2018-07-16 16:53:10浏览次数:75

    线性精密平台直线电机、直线模组、DD马达以及大理石平台组合,为线性平台之复合组合,其组合精度高,性能更优等特性。由直线电机与U型结构之线性滑轨构成,运用复合化、轻量化与模组化之趋势,结合高精度、高负载与高刚性等设计理念所自行开发。可节省安装使用空间与维修成本;已广泛应用在精密机械、半导体设备与其他需要精密定位的机构上。
 
 
 
线性精密定位平台也叫直线驱动定位平台,主要特点有直线电机直接驱动,不存在中间传递环节。优点主要有:结构简单,刚度高,推重比大,易获得较高的加速度,无回差间隙,精度高;缺点主要表现在:抗干扰能力差,电机存在端部效应,散热困难。为了减小对精度的影响,在定子和动子之间安装了气浮或磁浮轴承,来增强直线电机的抗干扰能力,同时静压气浮轴承的气流可带走产生的部分热量。对推力波动效应具有一定的隔离和衰减作用,减小非线性和不确定因素对系统的影响,实现系统的近零摩擦。

 

比如XY线性精密平台
 
 线性精密平台通过气浮轴承支承在大理石基座上,通过X-Y 向短行程平面电机及驱动臂,与长行程直线电机相连,实现线性精密平台的长行程定位,短行程测量及运动矫正,联合实现系统的纳米定位的目标。  其核心测量装置——激光干涉仪和光镜及接收器分别安装在气浮定位平台下方的支架上,反射镜安装在气浮定位平台上。当线性平台运动时,通过由激光干涉仪组成的测量系统,测量气浮定位工作台的直线运动误差。实验工作台是由一台长行程直线电机来驱动气浮工作台的长行程运动,X-Y 短行程直线电机完成气浮定位工作台的绕Z 轴和沿X、Y 方向的平移;沿Z 向的平动定位由其下方的柔性支承调节系统完成。

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